Obiettivo di titanio farfugliare della lega di Gr1 Gr2 Gr5 TiAl per il rivestimento di PVD

Gr1 Gr2 Gr5 leghe di titanio TiAl Titanio Sputtering Target Per rivestimento PVD

- Sì.

1- Il materiale bersaglio.

Il materiale bersaglio è il materiale bersaglio bombardato da particelle cariche ad alta velocità.acciaio inossidabile, di titanio, di nichel, ecc.), si possono ottenere diversi sistemi di pellicola (come la pellicola super-dura, resistente all'usura, in lega anticorrosione, ecc.).

(1) Obiettivi metallici: obiettivo nichel, Ni, obiettivo titanio, Ti, obiettivo zinco, Zn, obiettivo cromo, Cr, obiettivo magnesio, Mg, obiettivo niobio, Nb, obiettivo stagno, Sn, obiettivo alluminio, Al, obiettivo indio, In,bersaglio di ferro, Fe, bersaglio di zirconio alluminio, ZrAl, bersaglio di titanio alluminio, TiAl, bersaglio di zirconio, Zr, bersaglio di alluminio silicio, AlSi, bersaglio di silicio, Si, bersaglio di rame Cu, bersaglio di tantalio T, abersaglio germanio, Ge, bersaglio argento, Ag, bersaglio cobalto, Co, bersaglio oro, Au, bersaglio gadolinio, Gd, bersaglio lantano, La, bersaglio itrio, Y, bersaglio cerio, Ce, bersaglio tungsteno, w, bersaglio acciaio inossidabile,Obiettivo nichel-cromo, NiCr, hafnio bersaglio, Hf, molibdeno bersaglio, Mo, ferro-nickel bersaglio, FeNi, tungsteno bersaglio, W, ecc.

(2) Obiettivi ceramici: obiettivo ITO, obiettivo ossido di magnesio, obiettivo ossido di ferro, obiettivo nitruro di silicio, obiettivo carburo di silicio, obiettivo nitruro di titanio, obiettivo ossido di cromo, obiettivo ossido di zinco,bersaglio di solfuro di zinco, obiettivo di biossido di silicio, un obiettivo di ossido di silicio, obiettivo di ossido di cerio, obiettivo di biossido di zirconio, obiettivo di pentossido di niobio, obiettivo di biossido di titanio, obiettivo di biossido di zirconio, obiettivo di biossido di hafnio,obiettivo di diboruro di titanio, bersaglio di diboruro di zirconio, bersaglio di triossido di tungsteno, bersaglio di ossido di alluminio, ossido di tantalio, bersaglio di pentossido di niobio, bersaglio di fluoruro di magnesio, bersaglio di fluoruro di itrio, bersaglio di selenuro di zinco,Obiettivo di nitruro di alluminio, bersaglio di nitruro di silicio, bersaglio di nitruro di boro, bersaglio di nitruro di titanio, bersaglio di carburo di silicio, bersaglio di niobato di litio, bersaglio di titanato di praseodimio, bersaglio di titanato di bario,bersaglio di titanato di lantano, bersaglio di ossido di nichel, bersaglio di sputtering, ecc.

2I principali requisiti di prestazione dell'obiettivo

(1) Purezza

La purezza è uno dei principali indicatori delle prestazioni del bersaglio, perché la purezza del bersaglio ha una grande influenza sulle prestazioni del film.anche i requisiti di purezza dei materiali bersaglio sono diversiAd esempio, con il rapido sviluppo dell'industria della microelettronica, le dimensioni dei wafer di silicio sono passate da 6" a 8" a 12" e la larghezza del cablaggio è stata ridotta da 0,5um a 0,25um.18um o anche 0.13um, la precedente purezza target del 99,995% Può soddisfare i requisiti tecnici di 0,35umIC, e la preparazione di linee di 0,18um richiede 99,999% o anche 99,9999% per la purezza del target.

(2) Contenuto di impurità

Le impurità nel solido bersaglio e l'ossigeno e il vapore acqueo nei pori sono le principali fonti di inquinamento per il film depositato.Diversi obiettivi hanno requisiti diversi per diversi contenuti di impuritàAd esempio, i bersagli di alluminio puro e di leghe di alluminio utilizzati nell'industria dei semiconduttori hanno requisiti speciali per il contenuto di metalli alcali e di elementi radioattivi.

(3) Densità

Al fine di ridurre i pori nei solidi del bersaglio e migliorare le prestazioni della pellicola sputterizzata, il bersaglio deve di solito avere una densità maggiore.La densità del bersaglio non influisce solo sul tasso di sputteringLa densità del bersaglio è più elevata e le prestazioni della pellicola sono migliori.aumentare la densità e la resistenza del bersaglio consente al bersaglio di resistere meglio allo stress termico durante lo sputteringLa densità è anche uno degli indicatori chiave di performance del target.

(4) Dimensione e distribuzione dei grani

Il materiale bersaglio è solitamente policristallino e le dimensioni dei grani possono essere dell'ordine di micron a millimetro.la velocità di sputtering del bersaglio con grani fini è più veloce di quella del bersaglio con grani grossolani; lo spessore della pellicola depositata dallo sputtering sul bersaglio con una piccola differenza di dimensione del grano (distribuzione uniforme) è più uniforme.

3. materiale

(1)Titanio puro GR1 GR2

(2) Leghe di titanio: titanio Gr5, titanio alluminio TiAl, titanio nichel TiNi, titanio cromo TiCr, titanio zirconio TiZr, rame titanio TiCu ecc.

(3)Altri materiali: bersagli di sputtering di zirconio, bersagli di sputtering di cromo, bersagli di sputtering di tungsteno, bersagli di sputtering di rame, ecc.

4Scopo.

È ampiamente utilizzato nei rivestimenti decorativi, rivestimenti resistenti all'usura, CD e VCD nell'industria elettronica, nonché in vari rivestimenti per dischi magnetici.

Le pellicole a base di tungsteno-titanio (W-Ti) e le pellicole in lega a base di tungsteno-titanio (W-Ti) sono pellicole in lega ad alta temperatura con una serie di eccellenti proprietà insostituibili.Il tungsteno ha proprietà quali un elevato punto di fusioneLa lega W/Ti ha un basso coefficiente di resistenza, una buona stabilità termica e una resistenza all'ossidazione.Come vari dispositivi richiedono cablaggi metallici che svolgono un ruolo conduttivoTuttavia, il metallo di cablaggio stesso è facilmente ossidato, reagisce con l'ambiente circostante,e ha una scarsa adesione allo strato dielettricoÈ facile diffondersi nei materiali del substrato di dispositivi come il Si e il SiO2, e a una temperatura inferiore si formeranno il metallo e il Si.degrado notevolmente le prestazioni del dispositivoLa lega W-Ti è facile da utilizzare come barriera di diffusione dei cavi a causa delle sue proprietà termomeccaniche stabili, della bassa mobilità degli elettroni, della sua elevata resistenza alla corrosione e della sua stabilità chimica.particolarmente adatto per l'uso in ambienti ad alta corrente e ad alta temperatura .

Immagini dettagliate

Fabbrica

Confezione e consegna:

Il nostro metodo di imballaggio ragionevole può evitare che i materiali bersaglio si scontrino tra loro durante il trasporto.e può anche prevenire l'impatto dei beni esterni sul prodotto, e assicurare che il prodotto sia consegnato dopo la consegna Integrity.

- Uno.L'imballaggio sigillato, poi messo nella scatola di cartone o nella cassa di compensato standard.

- Due.Utilizzando cartoni personalizzati esclusivi con il logo del cliente, ogni singola confezione, per aiutare gli acquirenti a vendere direttamente.

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Assicurati che ogni confezione sia fatta su misura per te.assicurarsi che quando riceverete la merce non sia danneggiata.